| 发明名称 | 用于维护边缘排除屏蔽件的方法和系统 | ||
| 摘要 | 提供了一种用于自基板处理系统的处理腔体取出遮蔽元件或插入遮蔽元件至处理腔体中的方法。基板处理系统包括处理腔体、第一遮蔽元件、及基板传输系统。第一遮蔽元件用于排除材料应用于基板的数个部分。基板传输系统用于传输数个基板或数个基板载体至处理腔体内或至处理腔体外。此方法包括通过基板传输系统传输第一遮蔽元件。 | ||
| 申请公布号 | CN104781448A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201280076987.4 | 申请日期 | 2012.11.15 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | R·林德伯格;E·科帕拉 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 黄嵩泉 |
| 主权项 | 一种用于从基板处理系统(1000)的处理腔体(200；1400)取出第一遮蔽元件(190；290；1490)或插入该第一遮蔽元件至该处理腔体中的方法，该基板处理系统包括该处理腔体、该第一遮蔽元件(190；290；1490；1890)、及基板传输系统(300；400；1010)，该第一遮蔽元件用于排除材料应用于基板的数个部分上，该基板传输系统用于传输数个基板(60)或数个基板载体(62)至该处理腔体中及该处理腔体外，该方法包括：通过该基板传输系统传输该第一遮蔽元件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||