一种太阳能电池片的场强扩散方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池片的扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：将装载于可放电的石墨舟上的太阳能电池片放入高温扩散炉中，所述高温扩散炉中设有用于高频放电的电极，所述石墨舟与所述电极相连；将所述高温扩散炉中温度升温至850℃；向高温扩散炉中通入磷烷、氧气和氮气，其中磷烷的通入流量为0.5～1L/min，氧气的通入流量为0.5～1L/min，氮气的通入流量为5～10L/min，并将所述高温扩散炉内压力自动控制在170Pa；通过所述电极对所述石墨舟施加高频电源，使所述石墨舟对太阳能电池片放电，所述高频电源的放电功率为3000W～5000W，放电时间120s，放电结束时扩散完成。

主权项

一种太阳能电池片的扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：将装载于可放电的石墨舟上的太阳能电池片放入高温扩散炉中，所述高温扩散炉中设有用于高频放电的电极，所述石墨舟与所述电极相连；将所述高温扩散炉中温度升温至850℃；向高温扩散炉中通入磷烷、氧气和氮气，其中磷烷的通入流量为0.5～1L/min，氧气的通入流量为0.5～1L/min，氮气的通入流量为5～10L/min，并将所述高温扩散炉内压力自动控制在170Pa；通过所述电极对所述石墨舟施加高频电源，使所述石墨舟对两极之间放电，所述高频电源的放电功率为3000W～5000W，放电时间120s，放电结束时扩散完成；所述高温扩散炉为HPEVCD设备，太阳能电池片在所述HPEVCD设备的反应室内进行扩散，所述石墨舟与所述HPEVCD的电极相连。