| 摘要 |
본 발명은 유량 제어 장치 등에 있어서 사용하는 압전 소자 구동식 금속 다이어프램 제어 밸브의 구조의 간소화와 소형화, 조립과 보수 점검의 용이화를 도모함으로써, 반도체 제조 장치용 집적화 가스 공급 장치 등의 대형화를 초래하는 일 없이 공급 가스종이나 공급 회로수의 증가의 요구에 대응할 수 있도록 한다. 본 발명은 밸브 시트(6)를 갖는 상방 개방의 밸브실용 구멍부(1a)와 이것에 연통되는 유체 입구 통로(7a)와 유체 출구 통로(7b)를 구비한 밸브 본체(1)와, 밸브 시트(6)의 상방에 대향 형상으로 설치된 외주 가장자리를 밸브실용 구멍부(1a)의 저면에 고정한 역접시형의 금속 다이어프램 밸브체(2)와, 밸브실용 구멍부(1a)에 나사 삽입되어서 금속 다이어프램 밸브체(2)의 외주 가장자리를 압박 고정하는 압박 나사(5)와, 압박 나사(5) 내를 통과시켜서 밸브실용 구멍부(1a) 내에 삽입한, 선단부의 저벽 하방에 다이어프램 압박부(3)를 구비함과 아울러 측벽의 상단으로부터 중간부에 걸치는 장방형의 노치(22a)를 측벽에 대향해서 관통 형상으로 형성한 하부 지지통체(22)와, 하부 지지통체(22)의 상단부에 나사 부착되어서 지지통체(23)를 형성하는 원통 형상의 상부 지지통체(21)와, 하부 지지통체(22)의 저벽 상에 적재한 유지부(8a)를 갖는 접시 스프링 받침대(8)와, 접시 스프링 받침대(8) 상에 적재한 접시 스프링(18)과, 하부 지지통체(22)의 노치(22a)를 삽통해서 수평으로 설치한, 중앙에 접시 스프링 유지부(8a)의 선단부를 유지하는 접시 스프링 받침대의 가이드 구멍(19)을 가짐과 아울러 양단부에 볼트 삽입 구멍(20)을 형성한 지지 가대(16)와, 지지 가대(16)의 접시 스프링 받침대 가이드 구멍(19)의 상방에 적재한 하부 받침대(9)와, 하부 받침대(9)의 상방의 지지통체(23) 내에 삽입한 압전 소자(10)와, 가이드통(24a)과 그 하단부로부터 양측으로 돌출되는 플랜지부(24c)를 구비하고, 지지통체(23)를 가이드통(24a) 내에 상하 방향으로 이동 가능하게 삽통시킴과 아울러 플랜지부(24c)를 지지 가대(16)의 양단부에 대향시켜 고정용 볼트(17)에 의해 상기 지지 가대(16)와 함께 밸브 본체(1)에 고정한 가이드체(24)와, 상부 지지통체(21)의 상단부에 나사 부착한 위치 결정 너트(12)로 이루어지고, 압전 소자(10)의 신장에 의해 지지통체(23)를 상방으로 밀어올리고, 금속 다이어프램 밸브 본체(2)의 탄성력에 의해 이것을 밸브 시트(6)로부터 이좌시킨다. |
