A CONTAINER AND METHOD OF MITIGATING METAL-CONTACT CONTAMINATION OF POLYSILICON
摘要
<p>본 명세서는 적어도 부분적으로 금속으로 구성되고/되거나 적어도 부분적으로 금속인 폴리실리콘 접촉 표면을 갖는 용기 내에 수용되거나 저장될 때의 폴리실리콘의 금속-오염의 감소 또는 완화에 관한 것이다. 특히, 본 명세서 초미세 엘라스토머성 폴리우레탄을 포함하는 보호용 라이너를 용기의 금속 표면에 제공함에 의해 용기의 금속 표면과의 접촉으로 인한 다결정 실리콘의 금속 오염의 완화 방법에 관한 것이다.</p>
