发明名称 |
质量转移工具 |
摘要 |
本发明公开了用于从承载衬底转移微型器件的系统和方法。在一个实施例中,一种质量转移工具包括关节运动式转移头组件、承载衬底保持器和致动器组件,该致动器组件用于调整关节运动式转移头组件和承载衬底保持器之间的空间关系。该关节运动式转移头组件可包括静电电压源连接件和支撑静电转移头阵列的衬底。 |
申请公布号 |
CN104781922A |
申请公布日期 |
2015.07.15 |
申请号 |
CN201380058025.0 |
申请日期 |
2013.08.27 |
申请人 |
勒克斯维科技公司 |
发明人 |
J·A·希金森;A·比布尔;D·亚伯塔利 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;B25J9/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
王茂华;陈颖 |
主权项 |
一种质量转移工具,包括:关节运动式转移头组件,所述关节运动式转移头组件包括:静电电压源连接件;和衬底,所述衬底支撑静电转移头阵列;承载衬底保持器;和致动器组件,所述致动器组件调整所述关节运动式转移头组件和所述承载衬底保持器之间的空间关系。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |