螺旋相移干涉仪装置

摘要

本实用新型提供一种螺旋相移干涉仪装置。传统的相移干涉仪需要昂贵的精密相移装置。本实用新型的螺旋相移干涉仪装置包括激光器、扩束系统、分光棱镜、螺旋相位板、参考镜、测试镜、成像系统及探测器。螺旋相移干涉仪的结构为泰曼-格林型干涉仪。螺旋相位板是一种纯相位调制光学元件，沿角向周期性的调制入射光的相位，在本装置中作为相移器件。螺旋相位板位于测试镜和分光棱镜之间，并垂直于测试镜和分光棱镜的中心轴线。螺旋相位板为圆形结构，螺旋相位板的直径不小于测试镜的直径。螺旋相位板固定在旋转台上，旋转台绕测试镜和分光棱镜的中心轴线旋转一周，螺旋相位板在干涉仪装置中引入的相移值为2π。本实用新型具有操作简单，成本低廉的优点。

主权项

一种螺旋相移干涉仪装置，包括激光器、扩束系统、分光棱镜、螺旋相位板、参考镜、测试镜、成像系统及探测器；其特征在于，螺旋相移干涉仪的结构为泰曼‑格林型干涉仪，螺旋相位板作为干涉仪的相移器件；螺旋相位板位于测试镜和分光棱镜之间、并垂直于测试镜和分光棱镜的中心轴线；螺旋相位板为圆形结构，螺旋相位板的直径不小于测试镜的直径；螺旋相位板固定在旋转台上，旋转台绕测试镜和分光棱镜的中心轴线旋转一周，螺旋相位板在干涉仪装置中引入的相移值为2π。