一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器

摘要

一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器，适用于对环境参数进行测量。本实用新型的目的是要解决现有的环境参数传感器测量参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，从而提高精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，可将风速风向传感器单元、温湿度传感器单元和加热体温度传感器单元和气体传感器单元集成在一个传感器中，可使本传感器体积变小、成本降低。

主权项

一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器，其特征在于：它由硅基底(1)、二氧化硅绝缘层(2)、镍铬合金膜加热线圈、环境参数传感器单元焊盘、镍铬合金膜加热线圈焊盘、氧化铝绝缘层(6)、环境参数传感器单元、环境温湿度传感器单元、加热温度传感器单元(9)、连接线(10)和凹槽组成；所述的硅基底(1)与所述的镍铬合金膜加热线圈、环境参数传感器单元焊盘、镍铬合金膜加热线圈焊盘，通过二氧化硅绝缘层(2)连接并实现绝缘，所述的镍铬合金膜加热线圈与所述的环境参数传感器单元、环境温湿度传感器单元、加热温度传感器单元(9)、连接线(10)通过氧化铝绝缘层(6)连接并实现绝缘。