一种透射电镜样品的制备方法及定位方法

摘要

本发明提供一种透镜样品的制备方法及定位方法，其中，所述制备方法制作了两道紧挨的标记：第一标记和第二标记，且第一标记设置在具有缺陷点的目标位置区域，第二标记根据第一标记位置设置，因此能够设置在距离目标位置较近的位置；所述定位方法能够依据第二标记快速准确地定位目标位置，实现缺陷失效点的精确定位，因此，本发明的制备方法及定位方法简单，成本低，能够有效实现缺陷失效点的精确定位，保证TEM样品制备的成功率。

主权项

一种透镜样品的制备方法，其特征在于，包括：将一具有缺陷的初始TEM样品放入FIB机台中，并选定目标位置区域；在所述FIB机台中沉积第一保护层到所述目标位置区域，所述第一保护层为第一标记；在所述FIB机台中采用所述FIB机台的离子束线切割第一保护层一侧的区域，形成第二标记；在所述FIB机台中沉积第二保护层以覆盖所述第一标记和第二标记；在所述FIB机台中采用所述FIB机台的离子束切割所述第二保护层的覆盖区域至第二标记；在所述FIB机台中进行所述TEM样品的提取，获得TEM样品。