第III族氮化物晶片和制造方法与测试方法

摘要

本发明在一种情况中提供第III族氮化物晶片，其是从第III族氮化物锭块切割，经抛光以去除表面损坏层并经x射线衍射测试。使x射线入射束以小于15度的角度辐照，并评估衍射峰强度。通过这种测试的第III族氮化物晶片具有足以用于装置制造的表面质量。本发明在一种情况中还提供通过以下方式产生第III族氮化物晶片的方法：切割第III族氮化物锭块、抛光所述晶片的至少一个表面，并用相对于所述表面的入射束角度小于15度的x射线衍射测试所述表面质量。本发明在一种情况中还提供使用相对于所述表面的入射束角度小于15度的x射线衍射测试第III族氮化物晶片的所述表面质量的测试方法。

主权项

一种从块状第III族氮化物晶体切割的根据第III族氮化物晶体的晶片，其对于相对于所述晶片的表面的角度小于15度的入射束显示至少一个x射线衍射峰。