一种晶硅线切割废砂浆中切割液蒸发浓缩系统

摘要

一种晶硅线切割废砂浆中切割液蒸发浓缩系统，包括：切割液贮存罐；预热器，与切割液贮存罐出液口连通；一级薄膜蒸发器，与预热器出液口连接，水蒸气出口与第一蒸出水冷却器连接；一级蒸出液接收罐，与一级薄膜蒸发器出液口连接；二级薄膜蒸发器，与一级蒸出液接收罐连接，水蒸气出口与第二蒸出水冷却器连接；低压蒸汽源，分别与一级薄膜蒸发器及二级薄膜蒸发器连接；二级蒸出液冷却器，与二级薄膜蒸发器连接；二级蒸出液接收罐，与二级蒸出液冷却器连接；精密过滤器，与二级蒸出液接收罐连接，出液口与成品切割液接收罐管道连接。所述蒸发浓缩系统用于对废砂浆中切割液（聚乙二醇）再生处理，提高废砂浆再生效率，保证再生切割液的纯度和质量。

主权项

一种晶硅线切割废砂浆中切割液蒸发浓缩系统，其特征在于，包括：一切割液贮存罐，其进液口接含切割液的浆料，其出液口接有一浆料输送泵；一预热器，其底部进液口通过所述浆料输液泵与切割液贮存罐出液口连通，其中部蒸汽冷凝水出口通过管道与一蒸汽冷凝水接收罐连接；一级薄膜蒸发器，其上部进液口与所述预热器顶部出液口管道连接，其水蒸气出口通过管道与第一蒸出水冷却器连接；一级蒸出液接收罐，其上部进液口与所述一级薄膜蒸发器底部出液口管道连接；二级薄膜蒸发器，其上部进液口通过一蒸出液输液泵与所述一级蒸出液接收罐底部出液口管道连接，其水蒸气出口通过管道与第二蒸出水冷却器连接；低压蒸汽源，分别与所述一级薄膜蒸发器蒸汽进口及二级薄膜蒸发器蒸汽进口管道连接；二级蒸出液冷却器，其进液口与所述二级薄膜蒸发器底部出液口管道连接；至少一个二级蒸出液接收罐，进液口与所述二级蒸出液冷却器出液口管道连接；一精密过滤器，其进液口通过泵与所述二级蒸出液接收罐出液口管道连接，出液口与一成品切割液接收罐管道连接。