发明名称 一种电子显微镜样品盒
摘要 本发明是有关于一种电子显微镜样品盒,包括:一第一衬底、一第二衬底、及一金属黏着层。该第一衬底具有一第一表面、一第二表面、一第一凹槽、及一个或一个以上的第一导孔,该第一导孔贯穿第一衬底。该第二衬底具有一第三表面、一第四表面、及一第二凹槽。另外,该金属黏着层,设置于该第一衬底与该第二衬底间以形成一空间,使样品容置于其中,此外,本发明还包括一个或一个以上的栓塞,可以密封第一导孔,使本发明的样品盒密封并用电子显微镜实时观测。
申请公布号 CN102867720B 申请公布日期 2015.07.15
申请号 CN201110260001.6 申请日期 2011.09.05
申请人 财团法人交大思源基金会 发明人 陈智;杜经宁
分类号 H01J37/20(2006.01)I 主分类号 H01J37/20(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种电子显微镜样品盒,其特征在于,包括:一第一衬底,其具有一第一表面、一第二表面、一第一凹槽、及一个或一个以上的第一导孔,其中该第一凹槽设置于该第二表面,而该第一表面上设有一第一薄膜,其对应于该第一凹槽,且该一个或一个以上的第一导孔设置于该第一凹槽的外围,并贯穿该第一衬底;一第二衬底,其具有一第三表面、一第四表面、及一第二凹槽,其中该第二凹槽设置于该第四表面,而该第三表面上设有一第二薄膜,其对应于该第二凹槽;一金属黏着层,设置于该第一衬底与该第二衬底间;以及一个或一个以上的栓塞,容置于该第一导孔,其中,该栓塞的材料是选自:钛镍合金、铜基合金、铜锌合金、铜铝锰合金、铜铝镍合金、铜铝铍合金、铜铝铍锆合金、铜铝镍铍合金、及其组合所组成的群组;其中该第一衬底、该第二衬底、及该金属黏着层间形成一空间。
地址 中国台湾新竹市