一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测试系统

摘要

本发明公开了一种探针和引脚自动对准的方法，通过六个步骤实现了测试探针和引脚的自动对准。本发明还公开了一种探针和引脚自动对准的探针台测试系统，包括可移动的探针位移装置、安装在探针位移装置上的探针架和探针、可移动的且用于固定待测器件及晶圆的夹具、样品位移装置、可对所有装置进行程序设置的控制器、机械支撑装置、信号传输装置和电源装置。本发明的一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测试系统的投入成本低、通用性好、能在更短的时间内，在不损害待测器件及晶圆的情况下，更高效率地对其进行测试。广泛应用于复杂高速器件的精密电气测量，能够确保测试信号质量及测试结果的可靠性，并缩减测试时间和降低器件制造工艺的成本。

主权项

一种探针和引脚自动对准的方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、探针通过探针架固定在探针位移装置上，包含：如果待测器件的引脚个数是1个，则使所述探针的定位测试探针和定位轴线处于一条直线上；如果待测器件的引脚的个数是2个，则使所述探针的定位测试探针和定位轴线处于一条直线上，且使所述探针的辅助定位测试探针和辅助定位轴线处于一条直线上；如果待测器件的引脚个数多于2个，则使所述探针的定位测试探针和定位轴线处于一条直线上，使所述探针的辅助定位测试探针和辅助定位轴线处于一条直线上，使所述探针的一个或一个以上非定位测试探针中的每一个与一条非定位轴线处于一条直线上，并设置所述定位测试探针、所述辅助定位测试探针和所述非定位测试探针的相对位置以使每条所述定位轴线、所述辅助定位轴线和所述非定位轴线都仅与所述待测器件的一个引脚相交；所述非定位轴线和所述辅助定位轴线都与所述定位轴线平行；第二步、将所述待测器件固定于一个位于样品位移装置上且可在定位调整面上运动的夹具上，包含：如果所述待测器件引脚的个数是1个，则使所述定位调整面和所述定位轴线垂直且相交于定位交点，并将所述定位交点的相对位置信息预先存储于控制器中；如果所述待测器件引脚的个数多于1个，则使所述定位调整面和所述定位轴线垂直且相交于定位交点，且使所述定位调整面和所述辅助定位轴线垂直且相交于辅助定位交点，将所述定位交点的相对位置信息和所述辅助定位交点的相对位置信息预先存储于所述控制器中；第三步、如果所述待测器件引脚的个数是1个，则定义其为定位引脚，并向所述控制器输入所述待测器件的所述定位引脚尺度和所述定位引脚与所述夹具的相对位置信息；如果所述待测器件引脚的个数多于1个，则定义一个所述引脚为定位引脚且定义另一个所述引脚为辅助定位引脚，并向所述控制器输入所述待测器件的所述定位引脚尺度和所述定位引脚与所述夹具的相对位置信息以及所述辅助定位引脚尺度和所述辅助定位引脚与所述夹具的相对位置信息；第四步、所述控制器发出指令控制所述样品位移装置运动，使所述夹具在所述定位调整面上运动，从而将所述待测器件的引脚移至所述定位交点所在的位置，再使所述探针向下运动以观测对准情况，然后使所述探针恢复至原来位置或者进入第五步；或所述控制器发出指令控制所述探针位移装置运动，使所述定位测试探针在平行于所述定位调整面的平面上运动，从而将所述定位测试探针移至所述定位交点所在的位置，再使所述探针向下运动以观测对准情况，然后使所述探针恢复至原来位置或者进入第五步；第五步、如果所述待测器件引脚的个数多于1个，则通过所述控制器控制所述探针位移装置或所述样品位移装置，使所述辅助定位轴线与所述辅助定位引脚相交；如果所述待测器件引脚只有1个，进入第六步；第六步、所述控制器发出指令使所述探针沿着所述定位轴线向下运动，并与所述待测器件的引脚接触。