一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块

摘要

本发明公开了一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块，包括印刷电路板、设置在印刷电路板中心的微波功率放大器、设置于微波功率放大器外周的热电堆结构，热电堆结构包括依次串联的四个微机械热电堆，其中首尾两端的微机械热电堆分别连接一个压焊块，微机械热电堆与印刷电路板之间设置有砷化镓衬底。本发明具有改善微波收发机的散热性能，能够提供稳定的直流电压偏置，能量消耗小，且MEMS热电堆具有很高的集成度，与GaAs MMIC工艺相兼容，便于大规模生产。有效改善无线发射机系统的能量消耗，提高了系统的可靠性和稳定性。

主权项

一种微波收发机中的自供电模块，其特征在于，该模块包括自供电微机械传感器、储能电容(6)、稳压电路(7)和低噪声放大器(8)，所述微波收发机中的自供电微机械传感器的一个压焊块(4)接地，另一个压焊块(4)同时与储能电容(6)的一端和稳压电路(7)的输入端连接，所述储能电容(6)的另一端接地，所述稳压电路(7)的输出端与低噪声放大器(8)的直流电压偏置端连接；所述自供电微机械传感器包括印刷电路板(1)、设置在所述印刷电路板(1)中心的微波功率放大器(2)、设置于所述微波功率放大器(2)外周的热电堆结构，所述热电堆结构包括依次串联的四个微机械热电堆(3)，其中首尾两端的微机械热电堆(3)分别连接一个压焊块(4)，所述微机械热电堆(3)与印刷电路板(1)之间设置有砷化镓衬底(5)。