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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
摘要 반도체 장치는, 반도체 기판에 마련되는 트렌치, 트렌치의 내면을 덮는 절연막, 및 트렌치 안의 하부를 매설하고 절연막에 접하는 매립 배선을 가지며, 적어도 절연막과 매립 배선의 계면에 배리어 절연막이 배치되어 있다.
申请公布号 KR20150082621(A) 申请公布日期 2015.07.15
申请号 KR20157015571 申请日期 2013.11.11
申请人 PS5 LUXCO S.A.R.L. 发明人 NAKATA SHINICHI
分类号 H01L27/108;C23C16/42;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
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