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<p>본 발명은 유체를 코팅 공정으로 기판의 표면과 접촉시키는 단계와, 접착 프라이머 층이 기판의 표면에 접착되도록 유체 내의 성분과 기판의 표면 간에 공유 결합을 형성하는 화학 반응을 개시하는 단계를 포함하는, 임프린트 리소그래피 방법을 위한 접착 프라이머 층을 도포하는 방법을 제공한다. 중합체 층이 접착 프라이머 층으로 코팅된 기판의 표면에 접착될 수도 있다. 방법은 패턴형성된 자기 매체를 포함하는 양면 임프린팅 용도를 위한 접착 프라이머 코팅을 허용한다.</p> |
