| 摘要 |
<p>본 발명은 엘이디소자검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 상태에서 개별 칩으로 절단된 엘이디소자들을 패키징 전에 엘이디소자들의 발광특성 등을 검사하여 분류하는 엘이디소자검사장치에 관한 것이다. 본 발명은 웨이퍼에서 절단된 상태의 엘이디소자들을 웨이퍼링에 부착시켜 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부의 엘이디소자들을 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하는 복수의 소자안착부들을 통해 적어도 하나씩 전달받아 검사하는 소자검사부와; 상기 소자검사부에서 검사완료된 엘이디소자들을 전달받아 버퍼링에 부착시키는 버퍼부와; 상기 버퍼링에 부착된 엘이디소자들을 상기 소자검사부의 검사결과에 따라 각각의 소팅플레이트에 분류하여 언로딩하는 언로딩부를 포함하며, 상기 로딩부와 소자검사부 사이, 상기 소자검사부와 버퍼부 사이 및 상기 버퍼부와 언로딩부의 사이에서 상기 엘이디소자들을 복수의 로터리암을 통해 픽업하여 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하여 이송하는 제1 내지 제3 이송툴들을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치를 개시한다.</p> |
