| 摘要 |
<p>개구부를 포함하는 절연막 패턴을 형성하기 위하여, 기판 상에 절연막을 형성한다. 상기 절연막 상에 유기 폴리머막 및 하드 마스크막을 형성한다. 상기 하드 마스크막을 패터닝함으로써, 제1 개구를 포함하는 예비 하드 마스크 패턴을 형성한다. 상기 예비 하드 마스크 패턴을 패터닝함으로써, 상기 제1 개구 및 제2 개구를 포함하는 하드 마스크 패턴을 형성한다. 상기 하드 마스크 패턴을 이용하여 상기 유기 폴리머막을 식각함으로써 유기 폴리머 패턴을 형성한다. 상기 유기 폴리머 패턴을 이용하여 상기 절연막을 식각함으로써, 개구부를 포함하는 절연막 패턴을 형성한다. 상기 방법에 의하면, 매우 좁은 폭의 개구부를 포함하는 절연막 패턴을 형성할 수 있다.</p> |
