摘要 |
<p>동위원소-농축된 붕소-함유 화합물은 둘 이상의 붕소 원자 및 하나 이상의 불소 원자를 포함하며, 이때 하나 이상의 붕소 원자는 자연 존재 농도 또는 비율보다 큰 농도 또는 비율로 원하는 붕소의 동위원소를 포함한다. 상기 화합물은 BF의 화학식을 가질 수 있다. 이런 화합물의 제조 방법 및 이런 화합물을 사용한 이온 주입 방법뿐 아니라, 동위원소-농축된 붕소-함유 화합물이 후속 분배 사용을 위해 유리하게 포함된 저장 및 분배 용기가 기재되어 있다.</p> |