Method for reclaiming a surface of a substrate

摘要

본 발명은 기판의 표면을 재생하는 방법과 관련되고, 특히 실리콘 표면과 같은 표면은, 돌출되는 잔여분의 양상, 적어도 제 1 물질의 층을 포함한다. 기판의 표면의 비-돌출된 영역들에 충전 물질을 제공하고 후속 연마에 의해, 상기 재생이 수행될 수 있고, 종래 기술에서 사용된 물질을 소모하는 양면 연마 단계가 더 이상 필요하지 않다.