电浆未限制感测器及其方法

主权项

一种用以侦测电浆未限制现象的系统，包含：一感测器，其中该感测器为实施于一电浆反应器内之电容型感测器，该感测器被实施于电浆限制区域外，当该感测器暴露于与该电浆未限制现象有关之电浆时，该感测器系用以产生暂态电流，该感测器具有一外层及一外表面，该外层包含设置于一导电基板上之至少一电气绝缘层，其中该外层围绕该导电基板或部分设置于该导电基板与该电浆反应器之腔室壁之间，并且该外表面指向与该电浆未限制现象有关之该电浆；及一侦测电路，与该感测器电气连接，并用以将该暂态电流转换成暂态电压信号及处理该暂态电压信号，以指示该电浆未限制现象是否存在。