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发明名称 半导体加工机用基板移载机之清净组件之部分
摘要
申请公布号 TWD169067 申请公布日期 2015.07.11
申请号 TW103306893 申请日期 2014.11.25
申请人 日立国际电气股份有限公司 发明人 平野诚
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
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