发明名称 感光性树脂组合物、感光性树脂积层体及光阻图案之形成方法
摘要
申请公布号 TWI491979 申请公布日期 2015.07.11
申请号 TW099125162 申请日期 2010.07.29
申请人 旭化成电子材料股份有限公司 发明人 西泽豪
分类号 G03F7/004;G03F7/028;C07D285/125;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种感光性树脂组合物,其包含:(a)含有羧酸、酸当量为100~600、重量平均分子量为5,000~500,000之硷溶性高分子:20~80质量%;(b)含有至少1种具有丙烯醯基之化合物的乙烯性不饱和加成聚合性单体:5~60质量%;(c)含有N-芳基-α-胺基酸化合物与吖啶衍生物之光聚合起始剂:0.1~20质量%;(d)隐色染料:0.1~10质量%;及(e)下述通式(I)所示之巯基噻二唑化合物:0.01~5质量%: {式中,R1表示选自由碳数1~9之烷基、碳数1~9之烷氧基、碳数1~16之烷硫基、巯基、胺基及碳数1~9之烷基胺基所组成之群中之1种基},其中含有5质量%~45质量%之上述具有丙烯醯基之化合物。
地址 日本