晶舟

主权项

一种晶舟，用于容纳复数个晶圆，该晶舟包括：一本体，系由一第一材料制成，该本体包括两相对之一第一板体及一第二板体，以及连接于该第一板体及该第二板体之间的复数个柱体；复数个软性条体，分别设置于该些柱体上，该些软性条体系由一第二材料制成，每一软性条体具有用于与该些晶圆接触之复数个槽，其中该些软性条体与该些柱体系以胶合方式结合，且该第二材料与该第一材料不同。