| 主权项 |
一种具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，该纠偏执行机构设置于隔离框架形成的真空环境中，该电驱动件和该控制系统设置于常压环境中，该纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏感测器和连接杆，该电驱动件和该导向轮机构通过该连接杆连接，该电驱动件与该纠偏感测器均与该控制系统电连接，该纠偏感测器检测可挠性(flexible)材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，该控制系统接收该纠偏感测器输出的偏移信号而控制该电驱动件调整该导向轮机构的方向，以使该纠偏执行机构调整可挠性材料的位置，其中，该导向轮机构包括：导正棍；固定板，安装有第一固定座、第二固定座、第一固定杆和第二固定杆，该第一固定杆和该第二固定杆分别固定安装于该第一固定座和该第二固定座；以及轴承，该轴承包括第一直线轴承、第二直线轴承、第一万向轴承、第二万向轴承和第三万向轴承，该第一直线轴承和该第二直线轴承均固定于该固定板，该连接杆滑设于该第一直线轴承和该第二直线轴承内，该第一万向轴承固定套设于该连接杆并设置于该第一直线轴承和该第二直线轴承之间，且该第一万向轴承与该导正棍固定连接，该第二万向轴承和该第三万向轴承均固定安装于该导正棍，该第一固定杆和该第二固定杆分别滑设于该第二万向轴承和该第三万向轴承内，且
该第一万向轴承、该第二万向轴承和该第三万向轴承呈三角形形状设置。
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