主权项 |
一种系统,包含:a) 一容器其具有一内部容积及被构造成用来储存一超高纯度流体,该容器包含一阀系统,该阀系统包含为第一管道所连接的第一阀及第二阀;连接第一阀和该容器的第二管道;连接到第二阀的第三管道;及连接到第一管道的吹扫装置;及b) 能进入该容器内部的一装置,所述装置包括:一主体;安装在所述主体上的一感测器;至少一个用于传送来自所述装置的资讯的一发送机和用于储存所述资讯的一记忆储存装置;一外壳,该外壳至少部分地封闭所述主体;至少一轮子和/或滚筒,其是由一种材料构成当该材料与该流体接触时不会将该流体的纯度降低到预定最小值以下;及用于驱动所述至少一轮子和/或滚筒的至少一电动机及至少一驱动轴,其中该装置藉由该阀系统被插入于该内部容积,即藉由当第一阀处于其关闭位置时,打开第二阀将该装置插入于该内部容积;并且通过第三管道和第二阀来将该装置插入第一管道中。 |