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经营范围
发明名称
半导体制造用晶圆保持具之部分
摘要
申请公布号
TWD169006
申请公布日期
2015.07.11
申请号
TW103305426
申请日期
2014.09.16
申请人
东京威力科创股份有限公司
发明人
森崎英介;町山;小林洋克;原岛正幸;佐野志生
分类号
13-99
主分类号
13-99
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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