发明名称 半导体制造用晶圆保持具之部分
摘要
申请公布号 TWD169006 申请公布日期 2015.07.11
申请号 TW103305426 申请日期 2014.09.16
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 森崎英介;町山;小林洋克;原岛正幸;佐野志生
分类号 13-99 主分类号 13-99
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本