| 主权项 |
一种硬遮罩用组成物，包含一共聚物，其含有以下列化学式1及2表示之重复单元；及一溶剂：其中，于化学式1及2，R1系一经取代或未经取代之C1至C20伸烷基基团、一经取代或未经取代之C2至C20伸烯基基团、一经取代或未经取代之C2至C20伸炔基基团，或一经取代或未经取代之C6至C30伸芳基基团，R2至R4、R5至R14、R18及R19独立地系氢、一羟基基团、一胺基基团、一硫醇基团、一经取代或未经取代之C1至C20烷基基团、一经取代或未经取代之C2至C20烯基基
团、一经取代或未经取代之C2至C20炔基基团、一经取代或未经取代之C1至C20烷氧基基团、一经取代或未经取代之C3至C20环烷基基团、一经取代或未经取代之C3至C20环烯基基团、一经取代或未经取代之C3至C20环炔基基团、一经取代或未经取代之C2至C20杂环烷基基团、一经取代或未经取代之C2至C20杂环烯基基团、一经取代或未经取代之C2至C20杂环炔基基团，或一经取代或未经取代之C6至C30芳基基团，只要R5至R14之至少一者系一羟基基团、一胺基基团，或一硫醇基团，且R18及R19个别包括至少一羟基基团，R15及R16独立地系一经取代或未经取代之C6至C30伸芳基基团，R20至R25独立地系一经取代或未经取代之C1至C20伸烷基基团、一经取代或未经取代之C2至C20伸烯基基团、一经取代或未经取代之C2至C20伸炔基基团，或一经取代或未经取代之C6至C30伸芳基基团，n2至n4独立地系0n22，0n33，且0n44，n5及n6系范围从1至10之整数，n7至n10系范围从0至10之整数，x+y=1，0x1，0y1，n及m系范围从1至200之整数，且*2及*3系彼此连接，*1及*4系彼此连接。 |
