玻璃基板之刻划线方法及加工装置

主权项

一种玻璃基板之刻划线方法，系沿着刻划线预定线对在表面具有具压缩应力之强化层的玻璃进行刻划线之玻璃基板之刻划线方法，其具有以下步骤：第1步骤，将玻璃载置在具有基板保持用之复数个吸着孔之台座，并且以比中央部更强之吸着压将玻璃之刻划线预定线的终端侧之玻璃端部予以吸着；第2步骤，在玻璃之表面形成初期龟裂；及第3步骤，将雷射光照射在玻璃之表面并予以加热，并且将加热过之区域予以冷却，并沿着刻划线预定线使龟裂进展而形成刻划线沟。