场效电晶体的制造方法、场效电晶体以及显示装置的制造方法

主权项

一种制造顶部接触场效电晶体之方法，所述顶部接触场效电晶体包括基板、闸电极、闸极绝缘膜、包括氧化物半导体作为主要组份之作用层、保护层、源电极以及汲电极，所述方法包括：在所述作用层上形成所述保护层；在所述保护层上形成光阻膜；图案化曝光所述光阻膜；以及使用硷性显影液体显影所述光阻膜以形成光阻图案，且自所述保护层移除由所述光阻图案暴露之区，其中所述保护层具有耐酸性及硷可溶性。