用于光阻之抗反射组合物

主权项

一种用于光阻层之抗反射涂层组合物，其包含聚合物、交联剂及酸产生剂，其中该聚合物包括至少一个结构1之单元，
其中，X系选自非芳族(A)基团、芳族(P)基团及其混合物之连接基；R'系结构(2)之基团；其中R1及R2系H且L系氟化烷基，且进一步该结构(2)为衍生自以氟化缩水甘油醚封端反应物将羧基封端；R"系独立地选自氢或结构(2)之基团，其中R1及R2系H且L系氟化烷基，且进一步该结构(2)系衍生自以氟化缩水甘油醚封端反应物将羧基封端；且Y'系独立地为(C1-C20)伸烃基连接基。