| 主权项 |
【第1项】一种薄膜量测设备，系包含：一承载体，具有一载物平台，所述载物平台与该承载体系呈可滑动地组设；一光源单元，设于该载物平台侧边，并该光源单元照射方向系与该载物平台呈平行设置；一分光镜，设于所述载物平台之上方，折射由该光源单元向所述载物平台照射之光线；一透镜组，设于该分光镜与该光源单元之间；一第一量测单元，设于该载物平台上方，接收该光源单元向该载物平台照射后反射之光线；一第二量测单元，设于该载物平台及该第一量测单元之间，亦可接收该光源单元向该载物平台照射后反射之光线；一辅助透镜，设于该第一、二量测单元与该载物平台之间；一物镜，设于该分光镜及该载物平台之间；一数据处理装置，系分别与前述第一、二量测单元电性连接并分析计算所接收之资讯。 |
