可由双聚合得到之低Ｋ介电质

主权项

一种具有3.5或更小之电容率之介电层，其包含一可藉由使至少一双单体聚合而得到之介电质，该至少一双单体包含a)包含金属或半金属之第一单体单元，及b)经由化学键连接至该第一单体单元之第二单体单元，其中该第二单体单元为以下基团其中A1、A2、A3及A4各自独立地为氢、直链或支链脂族烃基、芳族烃基或芳族-脂族烃基，且R3及R4各自独立地为氢或具有1至6个碳原子之烷基，其中该聚合包含藉由使该化学键断裂且形成包含该第一单体单元之第一聚合物及包含该第二单体单元之第二聚合物而使该双单体聚合，且其中该第一单体单元及该第二单体单元系经由共同机制聚合。