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一种Sr-Ti-O系膜之成膜方法，属于在基板上形成Sr-Ti-O系膜之Sr-Ti-O系膜之成膜方法，其特征为：包含在处理容器内配置基板之步骤；和加热基板之步骤；和在保持基板被加热之状态下，直接在上述处理容器内将气体状之Ti原料、气体状之Sr原料以及气体状之氧化剂导入至上述处理容器内而在基板上形成Sr-Ti-O系膜之步骤，于上述Sr-Ti-O系膜之成膜时，各执行多次SrO膜成膜阶段和TiO膜成膜阶段；该SrO膜成膜阶段，包含将气体状之Sr原料导入至上述处理容器内而使Sr吸附于基板上之步骤，和将气体状之H2O氧化剂导入至上述处理容器内使Sr氧化之步骤，停止该气体状之H2O氧化剂导入，接着将气体状之O3氧化剂导入至上述处理容器内和于该些之后清除处理容器内之步骤；和该TiO膜成膜阶段，包含将气体状之Ti原料导入至上述处理容器内而使Ti吸附于基板上之步骤，和将气体状之O3氧化剂导入至上述处理容器内使Ti膜氧化之步骤，和于该些之后清除处理容器内之步骤。 |
