摘要 |
1. Низкоэмиссионное многослойное покрытие, у которого поверхностное удельное сопротивление составляет не более чем 3,3 Ом/квадрат, и коэффициент притока солнечного тепла составляет, по меньшей мере, 0,60 при изготовлении двойного оконного стекла.2. Низкоэмиссионное многослойное покрытие по п. 1, которое включает прозрачную подложку и тонкопленочную многослойную часть, имеющую, по меньшей мере, первый содержащий оксид титана слой, содержащий оксид титана, низкоэмиссионный металлический слой, содержащий серебро в качестве основного компонента, и второй содержащий оксид титана слой, содержащий оксид титана, образованные в данной последовательности на прозрачной подложке.3. Низкоэмиссионное многослойное покрытие по п. 2, в котором каждый из первого содержащего оксид титана слоя и второго содержащего оксид титана слоя получают методом распыления, используя материал мишени, и первый содержащий оксид титана слой представляет собой слой, который получают, используя материал мишени, имеющий меньшую степень окисления, чем степень окисления материала мишени, используемого для образования второго содержащего оксид титана слоя.4. Низкоэмиссионное многослойное покрытие по п. 2, в котором первый содержащий оксид титана слой получают, используя металлическую мишень, содержащую титан, и второй содержащий оксид титана слой получают, используя восстанавливаемую оксидную мишень, содержащую оксид титана.5. Низкоэмиссионное многослойное покрытие по п. 2, в котором первый содержащий оксид титана слой содержит TiOв качестве основного компонента, второй содержащий оксид титана слой содержит TiOв качестве основного компонента, и x на |