アクチュエータを備えるリソグラフィ装置、およびアクチュエータを保護する方法

摘要

【課題】 システムに衝突保護部が設けられたリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】 リソグラフィ装置はシステムを備える。システムは、第１部（２０８）と、第２部（２０４）と、エネルギー吸収素子（２１０）とを備える。第２部は、第１部に対して移動するように構成される。システムは、該システムの動作モード中に第１部と第２部との間に位置するギャップ（２１６）を有する。エネルギー吸収素子は、システムの故障モードにおいて第１部および第２部が互いに衝突する場合に第１部と第２部との間のエネルギーを吸収するためのものである。エネルギー吸収素子は、ギャップの外側にある。【選択図】図２ａ