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<p>Thermischer Durchflusssensor (1) zur Bestimmung eines Volumenstroms (11) in einem fluidischen Kanal (2), durch den ein Medium (3) strömt, wobei der Kanal (2) in einem ersten Bereich (4) einen ersten Kanalquerschnitt (A1) und in einem zweiten Bereich (5) einen zweiten Kanalquerschnitt (A2), der von dem ersten Kanalquerschnitt (4) abweicht, aufweist, wobei in dem ersten Bereich (4) zumindest ein erstes Heizelement (6) und im zweiten Bereich (5) zumindest ein zweites Heizelement (7) angeordnet ist, wobei ein Regel- und Auswerteeinheit (10) vorgesehen ist, die das erste Heizelement (6) mittels eines ersten Signals (U1) und das zweite Heizelement (7) mittels eines zweiten Signals (U2) beaufschlagt, wobei die Regel- und Auswerteeinheit (10) zumindest anhand des ersten Signals (U1) und/oder des zweiten Signals (U2) den Volumenstrom (11) in dem fluidischen Kanal (2) ermittelt und wobei die Regel- und Auswerteeinheit (10) das erste Signal (U1) und das zweite Signal (U2) in eine Beziehung setzt, um den ermittelten Volumenstrom (11) zu überprüfen und/oder zu korrigieren.</p> |
