Differenzialdrucksensor mit symmetrisch vorgesehenen Sensorchips und Druckeinleitungskanälen

摘要

Differenzialdrucksensor mit: einem Gehäuse (10); einem ersten und einem zweiten Druckerfassungselement (20, 30), die in dem Gehäuse (10) aufgenommen sind, wobei das erste Druckerfassungselement (20) derart arbeitet, dass es einen ersten Druck (A) erfasst und ein erstes elektrisches Signal ausgibt, das für den erfassten ersten Druck (A) charakteristisch ist, das zweite Druckerfassungselement (30) derart arbeitet, dass es einen zweiten Druck (B) erfasst und ein zweites elektrisches Signal ausgibt, das für den erfassten zweiten Druck (B) charakteristisch ist, und das erste und zweite Druckerfassungselement (20, 30) die gleiche Form und Größe aufweisen und in dem Gehäuse (10) hinsichtlich eines Bezugs (14, 14a) symmetrisch angeordnet sind; einem ersten und einem zweiten Druckeinlasskanal (40, 50), die in dem Gehäuse (10) vorgesehen sind, um jeweils dem ersten und zweiten Druckerfassungselement (20, 30) den ersten bzw. zweiten Druck (A, B) zuzuführen, wobei der erste und zweite Druckeinlasskanal (40, 50) die gleiche Form und Größe aufweisen und in dem Gehäuse (10) hinsichtlich des Bezugs (14, 14a) symmetrisch positioniert sind; einem ersten und ein zweiten Druckübertragungsmedium (71, 72), die in die ersten und zweiten Druckeinlasskanäle (40, 50) gefüllt sind, um die ersten und zweiten Drücke (A, B) zu den ersten bzw. zweiten Druckerfassungselementen (20, 30) zu übertragen, wobei die ersten und zweiten Druckübertragungsmedien (71, 72) derart ausgeformt sind, dass sie die gleiche Form und Größe aufweisen und hinsichtlich des Bezugs (14, 14a) symmetrisch sind; und einem Differenzialdruckbestimmungselement (60), das so arbeitet, dass es auf der Grundlage der ersten und zweiten elektrischen Signale, die von den ersten und zweiten Druckerfassungselementen (20, 30) ausgegeben werden, einen Differenzialdruck bestimmt, welcher die Differenz zwischen den ersten und zweiten Drücken (A, B) ist, wobei das Differenzialdruckbestimmungselement (60) auch dazu arbeitet, ein elektrisches Signal auszugeben, das für den bestimmten Differenzialdruck charakteristisch ist, gekennzeichnet durch ...