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<p>[Ziel] Bereitstellen eines Partikelsensors, welcher eine Gasentladung durch Anlegen einer konstanten Gleichspannung an eine Entladungselektrode erzeugen kann. [Mittel zur Lösung] Ein Partikelsensor 1 umfasst eine Ionenquelle 15 zum Erzeugen von Ionen CP mittels Gasentladung und ein Referenzpotenzialelement 45, welches um die Ionenquelle 15 angeordnet und bei einem Referenzpotenzial SGND gehalten ist. Der Partikelsensor 1 detektiert in einem zu messenden Gas EG enthaltene Partikel S mittels der Ionen CP. Die Ionenquelle 15 umfasst eine Keramikstruktur 100 mit einem Keramiklaminat 101 und einem Entladungselektrodenelement 110. Das Keramiklaminat 101 besteht aus einer Vielzahl von geschichteten isolierenden Keramikschichten 102, 103, 104. Das Entladungselektrodenelement 110 weist einen Zwischen-Schichten-Abschnitt 112A, 111, welcher zwischen den Schichten des Keramiklaminats 101 eingebettet ist, und einen freiliegenden Abschnitt 112B, welcher sich von dem Zwischen-Schichten-Abschnitt 112A, 111 hin zu einem Ort außerhalb des Keramiklaminats 101 erstreckt, auf. Das Entladungselektrodenelement 110 erzeugt die Gasentladung zwischen dem Referenzpotenzialelement 45 und dem freiliegenden Abschnitt 112B nach Anlegen eines konstanten Gleichspannungsentladungspotenzials VP2. Der freiliegende Abschnitt 112B des Entladungselektrodenelements 110 weist wenigstens einen nadelförmigen distalen Endabschnitt 112S auf, welcher in einen Raum außerhalb des Keramiklaminats 101 ragt und die Gasentladung erzeugt.</p> |
