发明名称 RF PULSE EDGE SHAPING
摘要 무선 주파수 발생 모듈은 각각의 제 1 및 제 2 상태에서 무선 주파수 발생 모듈의 출력의 제 1 및 제 2 원하는 진폭을 수신하고, 제 1 및 제 2 원하는 진폭을 기초로 하여 제 1 상태로부터 제 2 상태로의 전이와 상응하는 입력 파워 설정점들을 출력하는 파워 제어 모듈을 포함한다. 주파수 제어 모듈은 입력 파워 설정점들을 수신하고 입력 파워 설정점들과 상응하는 주파수 설정점들을 출력한다. 펄스 형상화 모듈은 입력 파워 설정점들, 주파수 설정점들, 및 제 1 상태로부터 제 2 상태로 언제 전이되는지의 표시를 수신하고, 입력 파워 설정점들, 주파수 설정점들, 및 표시를 기초로 하여 제 1 상태로부터 제 2 상태로 무선 주파수 발생 모듈의 출력을 전이한다.
申请公布号 KR20150080589(A) 申请公布日期 2015.07.09
申请号 KR20157014111 申请日期 2013.10.24
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 RUGHOONUNDON AMISH;FISK II LARRY J.;RADOMSKI AARON T.
分类号 H03K4/02 主分类号 H03K4/02
代理机构 代理人
主权项
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