超砥粒グリットを改善したＣＭＰコンディショナパッド

摘要

ＣＭＰ研磨パッド用のパッドコンディショナ。パッドコンディショナは、テクスチャ加工又は粗面化された表面を有する特徴部を含み、ダイヤモンド等の超砥粒グリットの種が粗面化された表面に散在する。多結晶ダイヤモンド等のコーティングを、表面及びグリットの種にわたって塗布することができる。１つの実施形態では、コーティングは、より大きい超砥粒グリットの５０％〜１００％の範囲である厚さを有する。