化学蒸着のための強磁性流体シールを有する回転円盤反応器

摘要

化学蒸着のための回転円盤反応器は、真空チャンバと、モータシャフトを真空チャンバ内に通過させる上側および下側強磁性流体シールを備えている、強磁性流体フィードスルーとを含む。モータは、モータシャフトに連結され、上側強磁性流体シールと下側強磁性流体シールとの間の大気領域内に位置付けられる。回転板が、モータが回転板を所望の回転率において回転させるように、真空チャンバ内に位置付けられ、モータシャフトに連結される。誘電支持体は、シャフトによって駆動されると、回転板が誘電支持体を回転させるように、回転板に連結される。基板ホルダーが、化学蒸着処理のために、真空チャンバ内の誘電支持体上に位置付けられる。ヒータは、化学蒸着のために、基板ホルダーの温度を所望の温度に制御するように、基板ホルダーに近接して位置付けられる。