DEVICE AND METHOD FOR ALIGNING SUBSTRATES

摘要

본 발명은, 제 1 기질(14)을 제 2 기질(14)과 정렬하고 접촉하기 위한 방법 및 적어도 네 개의 감지유닛(3,3',3",3"')을 가진 해당 장치에 관한 것이며, a) 적어도 두 개의 제 1 감지유닛(3,3")이 적어도 X 방향 및 Y 방향으로 이동할 수 있고, b) 적어도 두 개의 제 2 감지유닛(3',3"')이 Z 방향으로만 이동할 수 있다.