温度制御統合圧電性共振器

摘要

統合共振器装置（１００）が、圧電性共振器（１２０、１２４、１２８）、圧電性共振器に結合された音響ブラッグリフレクタ（１０４）、及びその上に音響ブラッグリフレクタが配置された基板（１０２）を含む。この装置は、また、圧電性共振器を覆うアクティブヒータ層を含む。アクティブヒータ層（１５０）により生成される熱は、アクティブヒータ層を介して提供される電流の量によって制御可能である。