液体金属を蒸発器に供給する方法および装置

摘要

本発明は、真空チャンバー中の蒸発器に金属を供給する方法および装置に関し、ここで、液体金属は、供給された液体金属の調節なしの流速が蒸発器中の液体金属の需要よりも大きくなるような加圧下で供給され、流速は、蒸発器中の液体金属の需要に応じて電磁ポンプを用いてフィード管中で液体金属に逆圧を生じさせることによって調節される。