Systeme und Verfahren zum Ausführen von chemisch-mechanischem Planarisieren

摘要

Es sind Systeme und Verfahren vorgesehen, um chemisch-mechanisches Planarisieren auszuführen. Ein beispielhaftes System umfasst Folgendes: einen Polierkopf, ein Polierkissen, eine Schlamm-Verteilerkomponente und eine Reaktionsmittel-Verteilerkomponente. Der Polierkopf ist so konfiguriert, dass er chemisch-mechanisches Planarisieren auf einen Artikel anwendet. Das Polierkissen ist so konfiguriert, dass es den Artikel stützt. Die Schlamm-Verteilerkomponente ist so konfiguriert, dass sie einen Schlamm auf dem Polierkissen bereitstellt. Die Reaktionsmittel-Verteilerkomponente ist so konfiguriert, dass sie ein Oxidationsmittel-Material auf dem Polierkissen bereitstellt, um mehrere Radikale zu erzeugen, die mit dem Artikel reagieren.