INTEGRATED WAVEFRONT SENSOR AND PROFILOMETER

摘要

광학 파면 센서와 단일점 프로파일로미터 둘 다를 포함하는 광학 비구면을 측정하는 기구이다. 광학 파면 센서는 테스트 비구면의 한 개 이상의 구역들 전체에 걸쳐 표면 높이 변화를 측정한다. 단일점 프로파일로미터는 테스트 비구면 상의 한 개 이상의 트레이스들을 따라서 표면 높이 변화를 측정한다. 트레이스들 중 한 개 이상은 구역들 중 한 개 이상과 교차하며, 이 구역들 및 트레이스들에 대한 각각의 공간적 기준 프레임은 이 구역들 및 트레이스들 사이의 명목상 일치하는 점들 사이의 차이를 최소화함으로써 서로에 대해 상대적으로 적응된다.