| 发明名称 | 一种彩色滤光片的制作方法及制作装置 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种彩色滤光片的制作方法及制作装置，该制作方法包括：在预设的玻璃基板上沉积第一反射膜；在所述第一反射膜上涂布光阻层；对所述光阻层的三种像素区域进行曝光处理，以形成包括三种不同厚度的光阻层；对经过曝光处理的三种像素区域进行显影处理，以使所述光阻层的第一面固定设置于所述第一反射膜上；及，在所述三种不同厚度的光阻层的第二面上沉积第二反射膜。采用本发明，解决了现有技术中形成法布里-珀罗带通滤光结构时耗时较长，效率低的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN104765189A | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201510168546.2 | 申请日期 | 2015.04.10 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 任维 |
| 分类号 | G02F1/1335(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/1335(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
| 主权项 | 一种彩色滤光片的制作方法，其特征在于，包括：在预设的玻璃基板上沉积第一反射膜；在所述第一反射膜上涂布光阻层；对所述光阻层的三种像素区域进行曝光处理以形成包括三种不同厚度的光阻层；对经过曝光处理的三种像素区域进行显影处理，以使所述光阻层的第一面固定设置于所述第一反射膜上；及在所述三种不同厚度的光阻层的第二面上沉积第二反射膜。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||