| 发明名称 | 用于机械支撑加热部件的终端 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于机械支撑加热部件(100)的终端(10)，所述终端包括：底座部件(30)；安装部件(20)，所述安装部件(20)适用于支撑所述加热部件(100)；以及支撑部件(40)，其将所述底座部件(30)连接至所述安装部件(20)，所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)沿着径向轴线的位移和小于所述加热部件(100)的所述沿着径向轴线的位移的约10％的沿着切向轴线和/或轴向轴线的位移。 | ||
| 申请公布号 | CN104769155A | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201380041627.5 | 申请日期 | 2013.08.05 |
| 申请人 | 普兰西欧洲股份公司;威科仪器有限公司 | 发明人 | 阿尔诺·普兰肯施泰纳;克里斯蒂安·法伊斯特;瓦迪姆·博古斯拉夫斯基;亚历山大·I·古拉里;张正宏 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 顾红霞;彭会 |
| 主权项 | 一种用于机械支撑加热部件(100)的终端(10)，所述终端包括：底座部件(30)；安装部件(20)，所述安装部件(20)适用于支撑所述加热部件(100)；以及支撑部件(40)，其将所述底座部件(30)连接至所述安装部件(20)，所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)沿着单主弹性方向的位移。 | ||
| 地址 | 奥地利乐特市 | ||