发明名称 图像显示系统
摘要 本发明揭示一种图像显示系统。此系统包括一薄膜晶体管装置,其包括第一栅极层,设置于基板的第一区且被第一绝缘层所覆盖。第一多晶硅有源层设置于第一绝缘层上,且第二多晶硅有源层设置于基板的第二区上,其中第二多晶硅有源层的晶粒尺寸大于第一多晶硅有源层。第二绝缘层覆盖第一及第二多晶硅有源层。第二及第三栅极层分别设置于第一及第二多晶硅有源层上方的第二绝缘层上。
申请公布号 CN101834189B 申请公布日期 2015.07.08
申请号 CN200910118988.0 申请日期 2009.03.11
申请人 统宝光电股份有限公司 发明人 刘侑宗;李淂裕;万德昌;陈国照;张美玲
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 屈玉华
主权项 一种图像显示系统,包括:薄膜晶体管装置,包括:基板,具有第一区及第二区;第一栅极层,设置于该第一区的该基板上;第一绝缘层,覆盖该第一栅极层;第一多晶硅有源层,设置于该第一绝缘层上;第二多晶硅有源层,设置于该第二区的该基板上;第二绝缘层,覆盖该第一多晶硅有源层及该第二多晶硅有源层;第二栅极层,设置于该第一多晶硅有源层上方的该第二绝缘层上;以及第三栅极层,设置于该第二多晶硅有源层上方的该第二绝缘层上;其中该第一区的该第一多晶硅有源层、该第一栅极层及该第二栅极层、及该第一绝缘层及该第二绝缘层构成第一薄膜晶体管,且该第一薄膜晶体管包括驱动薄膜晶体管,而该第二区的该第二多晶硅有源层、该第三栅极层、及该第一绝缘层及该第二绝缘层构成第二薄膜晶体管,且该第二薄膜晶体管包括周边电路薄膜晶体管或像素区的开关薄膜晶体管,其中该第二多晶硅有源层的晶粒尺寸大于该第一多晶硅有源层的晶粒尺寸。
地址 中国台湾新竹科学工业区