| 发明名称 |
HIGHLY ABSORBING LAYER SYSTEM, METHOD FOR PRODUCING THE LAYER SYSTEM AND SUITABLE SPUTTERING TARGET THEREFOR |
| 摘要 |
<p>본 발명은 2 이상의 층, 이 중 하나의 층은 관찰자와 대면하며 유전체로부터 만들어진 반사방지층이고, 1 이상의 다른 층은 관찰자 반대쪽에 있는 흡수체층으로 이루어진, 고 흡수층 시스템에 관한 것이다. 나아가, 본 발명은 아르곤을 포함하는 스퍼터링 환경에서 스퍼터링 타겟의 DC 또는 MF 스퍼터링에 의한 흡수체층의 증착을 포함하는, 층 시스템의 제조 방법 및 상기 방법을 수행함에 있어서 적합한 스퍼터링 타겟에 관한 것이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150079811(A) |
申请公布日期 |
2015.07.08 |
| 申请号 |
KR20157013732 |
申请日期 |
2013.10.15 |
| 申请人 |
HERAEUS MATERIALS TECHNOLOGY GMBH & CO. KG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
SCHLOTT MARTIN;KASTNER ALBERT;SCHULTHEIS MARKUS;WAGNER JENS;SCHNEIDER BETZ SABINE;DEWALD WILMA;SZYSZKA BERND;SITTINGER VOLKER |
| 分类号 |
G02B5/00;C23C14/34;F24J2/46;F24J2/48;G02B1/116;G02B5/22 |
主分类号 |
G02B5/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
